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1.稱重法：是一種生產和實驗中常用的清潔度檢測方法。其原理是使用選定的清洗液在一定條件下對樣品進行清洗。將清洗后的液體通過一定孔徑的濾膜進行過濾（常用的濾膜孔徑有5μm，10μm，20μm，40μm等）。使得顆粒物收集在濾膜表面。對過濾前后的濾膜烘干秤重，兩次質量差即為雜質質量。

2.顆粒尺寸數量分析法：是一種清潔度測試的新方法。其基本原理是根據被檢測的表面與污染物顆粒具有不同的光吸收或散射率其雜質收集方法與重量法相同，待濾膜干燥后，使用顯微鏡(設備是具有拍攝功能的圖像識別和分析設備)在光照射下檢測，按顆粒尺寸和數量統計污物顆粒，即可得到所測物體零件的固體顆粒污染物結果。這是一種適合精密清洗定量化的清潔度檢測方法，尤其適用于檢測微小顆粒和帶色雜質顆粒。

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